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虚拟仿真在半导体加工技术光刻实验中的应用

2021.05.16点击:

摘要: 半导体专业是工程应用型学科,着重培养学生的实践能力,实验教学环节至关重要.由于实验成本及实验场地的局限性,半导体加工技术实验难以线下开展.长期以来,课程理论与实践难以结合,学生缺乏学习主动性,不利于工程型人才的培养.因此,郑州大学物理学院(微电子学院)建设了"MEMS制造光刻实验虚拟仿真教学"平台并引入实验教学,通过构建逼真的光刻实验环境和实验设备,达到与真实实验一致的学习体验.新的实验教学方法通过有效融合理论知识学习、实验步骤操作、学习效果考核、线下学习等环节,建立了完善的跟踪反馈机制,可有效激发学生自主学习兴趣.

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doi:

10.12223/j.2095-6711.2021.02.091

关键词:

虚拟仿真  光刻  实验教学

作者:

马刘红  李梦珂  钟英辉  段智勇

作者单位:

郑州大学物理学院(微电子学院)

刊名:

当代教育实践与教学研究(电子刊)

Journal:

Contemporary Education Research and Teaching Practice

年,卷(期):

2021,(2)

所属期刊栏目:

教学实践探索

页数:

共2页

页码:

219-220

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